在半導體設備中，不起眼的密封件出現(xiàn)故障能夠引起設備直接罷工。在真空等離子清洗機的運行中也不例外。密封件的種類有很多，適用的部位是不相同的，密封件的選擇是否合適，是一臺真空等離子清洗機密封性好壞的關鍵。其實，選對合適的密封件也是有方法可循的，今天就來給大家介紹一下真空等離子清洗機上主要使用到的三種密封件，以及其對應使用的部位，希望對大家有所幫助。

真空等離子清洗機上所使用的密封件從種類上分主要有3種，**種是O型密封圈、**種是管路支架密封件、第三種是密封墊片。

1.真空等離子清洗機上所使用的O型密封圈

O型密封圈(O-rings)是一種截面為圓形的橡膠密封圈，因其截面為O型，故稱其為O型橡膠密封圈。O型密封圈是機械設計中*常見的密封元件之一。

O型密封圈的優(yōu)點有很多，先來舉幾個較為突出的優(yōu)點，首先O型密封圈的制造十分簡單，原材料也是比較普通的橡膠成分，因此價格比較便宜；其次是O型密封圈的耐磨性強，密封性能可靠；*后，O型密封圈安裝簡單、易于操作。圖片

O型密封圈在真空等離子清洗機上主要運用在真空等離子清洗機的真空腔體與其他部件相連接的部位，起到密封作用，比如真空腔體與真空門之間的密封、饋入電極與真空腔體之間的密封以及真空腔體與真空管路之間的密封等等。

2.真空等離子清洗機上所使用的管路支架密封件

管路支架密封件是一種運用于真空等離子清洗機外部管路與管路之間相連接的密封件，管路支架密封件一般和真空卡箍一起配合使用，使用時將管路支架密封件放置在管路與管路之間，然后用真空卡箍鎖緊，通過真空卡箍的擠壓，使管路夾緊管路支架密封件，*終可實現(xiàn)密封效果，是一種常見的管路與管路之間的密封方式。

管路支架密封件的主要優(yōu)點是安裝起來十分方便，無需使用工具；密封性能好。管路支架密封件在真空等離子清洗機上主要運用在真空管路之間的連接處上。

3.真空等離子清洗機上所使用的密封墊片

密封墊片是一種用于有流體的機械、設備所使用的密封件。密封墊片是金屬或非金屬的板狀材質，經(jīng)切割、沖壓或裁剪等工藝制作而成的，主要用于機器設備的機件與機件之間的密封連接。